本文標(biāo)題："全像顯微技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確量測(cè)試樣的三維結(jié)構(gòu) "

全像顯微技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確量測(cè)試樣的三維結(jié)構(gòu)

數(shù)位全像顯微系統(tǒng)重建微/納米元件樣本
三維結(jié)構(gòu)之能力。這個(gè)所提出的光學(xué)系統(tǒng)利用一個(gè)物鏡(Objective Lens)放大物體
的波前，同時(shí)在物鏡后面引入一個(gè)補(bǔ)償透鏡(Offset Lens)并與前者形成共焦點(diǎn)架
構(gòu)，借此實(shí)體地補(bǔ)償因物鏡所產(chǎn)生的二次式相位(Quadratic Phase)，即所謂的失
焦像差(Defocus Aberration)。我們利用Mach-Zehnder 干涉儀來(lái)實(shí)現(xiàn)任意步進(jìn)相
位數(shù)位全像顯微系統(tǒng)。由全像重建所引起的零階和共軛干擾影像，將應(yīng)用單次
曝光法及任意步進(jìn)相位方法加以抑制。從數(shù)值重建物體的波前可得到相對(duì)的相
位分布，并利用Kreis 所提出的相位展開(kāi)技術(shù)還原其原本的相位資訊。最后藉由
還原的物光相位，達(dá)到分析樣本三維結(jié)構(gòu)的目的

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全像顯微技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確量測(cè)試樣的三維結(jié)構(gòu) ,金相顯微鏡現(xiàn)貨供應(yīng)

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