本文標題："什么是電極涂布機-太陽能電池檢測金相顯微鏡"

什么是電極涂布機-太陽能電池檢測金相顯微鏡

電極涂布機臺涂布重現(xiàn)性分析
以三組機臺補正輸入?yún)?shù)實驗計算芯片座標系與電極座標系誤差
值后結果共十五組補償數(shù)據(jù)，數(shù)據(jù)中 x1 最大誤差為 0.0386 mm，y1 最
大誤差為 0.0397 mm，θ1 最大誤差為 0.0595°，造成誤差較大的原因為
涂布網(wǎng)版及銀膠品質(zhì)影響，將上述兩者改善后，誤差可大幅降低，因
此于后續(xù)芯片補正時，需更加注意涂布后電極品質(zhì)對軟件辨識的影響。

 軟件座標與涂布機臺座標轉換誤差分析
八組機臺補正參數(shù)(增量 50 μm)涂布后計算芯片座標系與電極座標
系誤差值，經(jīng)座標轉換后以兩兩一組組合方式比較，共有 28 組數(shù)據(jù)，
由機臺補正參數(shù)差值與座標轉換結果差值進行比較，得到 X 最大誤差
為 0.0117 mm，Y1 最大誤差為 0.0090 mm，Y2 最大誤差為 0.0166 mm。
由最大誤差值可了解座標轉換后與機臺補正參數(shù)差距不會太大，因此
初步判定座標轉換方式正確，但于后續(xù)進行電極涂布補正時，座標轉

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