本文標(biāo)題："多種不同功能的量測工具顯微鏡-微小振動的量測"
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多種不同功能的量測工具顯微鏡-微小振動的量測
然而原先使得遠場光學(xué)顯微鏡加值的技術(shù)(如共焦術(shù)、光子穿隧顯微術(shù)、干涉術(shù)等)卻沒有充分地
與近場光學(xué)技術(shù)結(jié)合，因此本計畫主要提出將嘗試結(jié)合近場光學(xué)術(shù)(near-fieldmicroscopy)、
光子穿隧顯微術(shù)(photontunnelingmicroscopy)、干涉術(shù)(interferometry)三大技術(shù)，
經(jīng)由對前項技術(shù)做更詳細的討論后，提出創(chuàng)新整合架構(gòu)來達成全新的量測系統(tǒng)，
以求能有機會以光學(xué)顯微系統(tǒng)來實現(xiàn)納米結(jié)構(gòu)微小振動的量測。
建構(gòu)一套結(jié)構(gòu)剛性佳且穩(wěn)定性高的基礎(chǔ)顯微鏡架構(gòu)，開發(fā)多項功能以求同時能承載多種不同功能的量測系統(tǒng)；
共焦光學(xué)顯微鏡與光子穿隧顯微鏡，即是以一傳統(tǒng)的反射式光學(xué)顯微鏡為基礎(chǔ)，
將共焦光學(xué)顯微鏡之光路系統(tǒng)架構(gòu)于其中，同時也以同一顯微鏡基礎(chǔ)，
利用光子穿隧效應(yīng)接近近場光學(xué)顯微術(shù)的架構(gòu)，研制了光子穿隧顯微鏡，
提供了一套擁有雙重功能的顯微鏡系統(tǒng)。通常一套共焦光學(xué)顯微鏡或光子穿隧顯微鏡，
在半導(dǎo)體廠用于檢測薄膜厚度的橢偏儀，亦是需要花費數(shù)百萬之譜，
因此，想要同時擁有數(shù)種不同的精密量測設(shè)備
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