本文標(biāo)題："光學(xué)輪廓儀型號(hào)及精度-電動(dòng)測(cè)量工具顯微鏡"
發(fā)布者：yiyi ------ 分類: 行業(yè)動(dòng)態(tài) ------
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光學(xué)輪廓儀型號(hào)及精度-電動(dòng)測(cè)量工具顯微鏡
共焦顯微鏡 共焦顯微鏡是商用化最成功的一個(gè)光學(xué)聚集傳
感系統(tǒng)，最早用來(lái)進(jìn)行生物樣品的檢測(cè)，在工程表面的測(cè)量上也
得到了應(yīng)用。
干涉型光學(xué)輪廓儀
（1）雙波長(zhǎng)和多波長(zhǎng)干涉測(cè)量最早的干涉型光學(xué)輪廓儀使用的
是單色光照明，同時(shí)使用了相移技術(shù)。使用相移技術(shù)獲得最高測(cè)量
粘度，但是單色照明卻限制了測(cè)量的范圍。為了能夠擴(kuò)大測(cè)量范圍
。進(jìn)一步發(fā)展了雙波長(zhǎng)和多波長(zhǎng)技術(shù)。如今雙波長(zhǎng)和多波長(zhǎng)干涉測(cè)
量原理還在全息和散斑技術(shù)是使用，用來(lái)測(cè)量大口徑元件，其間用
到了條紋投影和結(jié)構(gòu)光技術(shù)。
（2）白光干涉測(cè)量 白光干涉測(cè)量系統(tǒng)早已確立為用于工程表
面測(cè)量的主導(dǎo)學(xué)輪廓儀。白光干涉測(cè)量可以看做一種光學(xué)聚焦傳感
器。干涉信號(hào)的位置確定了最佳焦點(diǎn)，這類設(shè)備的典型結(jié)構(gòu)是由一
個(gè)傳統(tǒng)的顯微鏡配備一個(gè)干涉物鏡組成，這種干涉測(cè)量技術(shù)上比其
他光學(xué)和探針輪廓技術(shù)而言，其優(yōu)勢(shì)在于進(jìn)行會(huì)場(chǎng)掃描而非點(diǎn)到點(diǎn)
的掃描。由于整個(gè)面積的成像是同時(shí)完成的，橫向掃描變得不再必
要，這也極大地提高了測(cè)量速度。
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