本文標題："微型的光學測量或機械測量輪廓測量工具顯微鏡"
發(fā)布者：yiyi ------ 分類: 行業(yè)動態(tài) ------
人瀏覽過-----時間：2014-11-13 10:29:35
微型的光學測量或機械測量輪廓測量工具顯微鏡
在常用的超精密形狀測量法中，利用光干涉的面
形測量法運用的最多。干涉測量法的應用前提是必
須要保證基準元器件的精度，但如何保證其精度是
現(xiàn)在面臨的主要問題之一。而且目前非球面形狀的
干涉測量法仍舊不成熟，這也是現(xiàn)在需要解決的關
鍵問題之一。鑒于干涉法對振動或環(huán)境的適應很弱
的情況下，該測量方法更傾向于大型化的光學系統(tǒng)
測量，而不是傾向于微型的光學測量或機械測量。
與此相對應的是，掃描測量方法可以實現(xiàn)球面或平
面，以及非球面等多種形狀的簡單在線測量。
一般的， 在掃描測量法中，需先確定好嚴格的測
量基準，然后開始對對被測物體進行掃描，以此查
獲得被測量物的相對位置變化或相對角度等。根據(jù)
母性原理，掃描測量法和測量精度由以下兩個因素
決定：
（1）傳感器的檢測精度
（2）掃描基準的運動精度
后一篇文章：亞微米級精度的變位計和能測量出0.1s數(shù)據(jù)精度 »
前一篇文章：« 精密加工技術和精密檢測用多功能金相顯微鏡常識
tags:技術,科學,材料學,金屬,金相顯微鏡,上海精密儀器,
微型的光學測量或機械測量輪廓測量工具顯微鏡,金相顯微鏡現(xiàn)貨供應
本頁地址：/gxnews/2002.html轉載注明
本站地址：/
http://www.xianweijing.org/