本文標(biāo)題："光學(xué)、機(jī)械輪廓儀-高精度粗糙度測量儀"
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光學(xué)、機(jī)械輪廓儀-高精度粗糙度測量儀
由于表面粗糙度對光學(xué)、機(jī)械、電子性能的重要影響，導(dǎo)致了表
面粗糙度評價和測量的各種技術(shù)極大發(fā)展。通常以光學(xué)表面粗糙度
的測量技術(shù)可以分為兩大類：一類是直接測量表面輪廓，并從表面
輪廓測量中獲得表面特性的統(tǒng)計參數(shù)。例如械械觸針或輪廓儀法，
光學(xué)輪廓儀及光學(xué)外差輪廓儀法。另一類是測量表面的統(tǒng)計參數(shù)，
而并不是到輪廓。這種技術(shù)目前有光散射法、激光散斑法等。
表面粗糙度的基本表示法
通常的工程是經(jīng)過各種加工處理的，它們的表面結(jié)構(gòu)很復(fù)雜。
例如經(jīng)磨削加工的機(jī)械零件，其表面具有明顯、規(guī)劃、周期性紋路
。但有些加工處理的零件表面可能是向各向同性的；即沿各個方向
測量得到的結(jié)果是相同或類似的，而它的結(jié)構(gòu)卻是隨機(jī)的。對大部
分工程來說，它們的表面顯微結(jié)構(gòu)是各向異性，而且是周期和隨機(jī)
特性二者的綜合。為了對表面形貌作定量的研究，發(fā)展了若干統(tǒng)計
參數(shù)和函數(shù)來表示表面的粗糙度特性。這些統(tǒng)計參數(shù)表征了表面形
貌的兩個基本方面；即表面的高度起伏（振幅）和這些起伏之間的
縱向間隔（有時稱作波長）。
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