本文標(biāo)題："表面輪廓定量測量常用的光學(xué)顯微鏡定制應(yīng)用"
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表面輪廓定量測量常用的光學(xué)顯微鏡定制應(yīng)用
自動觸針系統(tǒng)
觸針式儀器是得到表面輪廓定量測量的傳統(tǒng)工具，然而，由于
它可能劃傷表面以及對表面的錯誤描述面受到批評，非接觸測量
技術(shù)的倡導(dǎo)都對觸針拖動引起的劃傷和由于針尖有限半徑引起的
衰減影響進行過評論。
在許多工程、機械制造經(jīng)濟學(xué)、節(jié)能和特別是影響普通消費者
的醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域里，加深了對表面表面粗糙度儀重要性的認識，這對目前
工程表面的研究趕著促進作用，令人驚訝的是，這種研究突出了
需要直接解決的新問題，以便解決提供足夠的表面特征的原始課
題。
盡管在二十多年前就已認識到單個表面特征參數(shù)不太適當(dāng)，但
是工程表面的標(biāo)準(zhǔn)很少發(fā)生改變，停止不前的原因主要是沒有認
識到三維問題，制作了精巧的能在整個被測表面上平行滑行的觸
針式掃描機構(gòu)，以便能得到三維信息，后來，利用類似的原理用
泰勒塞夫輪廓儀做了個掃描系統(tǒng)，它能滿意地用來解決實際問題
，然而，它要求對泰勒塞夫的設(shè)備作較大的變動，以便在每次滑
行以后將其觸針臂返回到起始位置。
掃描電子顯微鏡本身就能方便地掃描并產(chǎn)生所研究表面的圖象
，嘗試過用三種方法定量分析來自掃描電鏡的信息：信息強度即
對比度，立體照相和電子光截法，在每種方法中，都遇到二次電
子發(fā)射的判斷和預(yù)測問題，在分析表面粗糙度時也研究過微波的
應(yīng)用，但還沒有成功，表面的算術(shù)平均粗度值和度量反射能力的
安培計相應(yīng)讀數(shù)之間沒有確切的關(guān)系。
同時，分差帶的要求與他們自己的表面微觀結(jié)構(gòu)相比將變得更
接近，而我們已經(jīng)充分建立起來的解析工程表面的觸針式儀器仍
然是最富有生命力的工具。
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