本文標題："擴散工藝中對所用材料樣品研究級實驗顯微鏡"
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擴散工藝中對所用材料樣品研究級實驗顯微鏡
在擴散工藝中對所用材料與儀器的純度與潔凈度均有極高要
求。
塵粒、有機雜質(zhì)和無機雜質(zhì)都會產(chǎn)生局部合金化和擴散源，它們
會破壞理想的高度完美的結(jié)構(gòu)。應(yīng)指出，塵粒和其它：通常為惰性
的材料在擴散溫度下會變得導(dǎo)?；钴S和易起化學(xué)反應(yīng)。
成功的擴散工藝還要求控制摻雜源，不允許有其它摻雜源。在工
藝操作過程中，石英爐管所吸收的摻雜劑在以后的擴散近程中足以
充當新的摻雜源。在擴散爐的擴散區(qū)或擴散區(qū)附近使用的推桿、石
英舟和其它操作工具也會起相同的作用。因此，擴散爐、爐管和
操作工具是專用于某一擴散工藝的。若磷、硼擴散
用的爐管互換使用，或兩者均使用于熱氧化生長的場合，就會造
成很大的席煩。
對攜帶氣體及有關(guān)的罐、閥門和連接管道同樣應(yīng)仔細地進
行操作。在應(yīng)避免潮濕或氧氣氣氛的工藝場合中，氣體管道、閥
門和接頭必須密封防潮。
當擴散爐散發(fā)的高熱足以燒灼塑料管道時，就會產(chǎn)生另一
個問題。塑料管道所釋放出來的氣體足以沾污整批硅片。
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