本文標題："試樣檢測顯微技術(shù)可同時觀測樣品表面形貌電子顯微鏡"
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試樣檢測顯微技術(shù)可同時觀測樣品表面形貌電子顯微鏡
以往對疇結(jié)構(gòu)的研究主要利用了鐵電疇的電、光性質(zhì)。利用對鐵電疇的力學
性質(zhì)的觀察是一種新的嘗試。從電聲成像的壓電模型知道，所獲得的聲信號取決
于材料的壓電系數(shù)和能量耗散區(qū)壓電振動模式，即材料的力學性質(zhì)提供了電疇成
像的襯度。
由于這種方法獨特的成像機理，掃描電聲顯微技術(shù)對電疇結(jié)構(gòu)的研究具有非
常突出的優(yōu)點：
(1)具有普遍適應(yīng)的試樣檢測范圍，包括鐵電體、鐵彈體和鐵磁體，并不局限
于某些特殊的材料；
(2)非破壞性成像使電疇結(jié)構(gòu)保持了自然形態(tài)，對樣品疇結(jié)構(gòu)可進行實時動
態(tài)研究觀察；
(3)由于電聲顯微鏡具有亞表面成像能力，可獲得樣品亞表面疇結(jié)構(gòu)信息；
(4)不需要對試樣做特殊的處理，不用進行拋光、減薄或者腐蝕等煩瑣的樣品
制備過程，大大簡化了對單疇進行觀察的實驗工作；
(5)可同時觀測樣品表面形貌(SEI)和疇結(jié)構(gòu)形貌(EAI)，可以更為詳盡地研
究電疇結(jié)構(gòu)與晶粒、晶界和缺陷等空間特性的關(guān)系；
(6)獲得的電疇圖像形貌清晰，有較高分辨率。
電聲顯微技術(shù)(SEAM)經(jīng)過僅十余年的研究，在成像技術(shù)和成像理論方面都
有了很大的發(fā)展，被應(yīng)用于眾多的材料研究領(lǐng)域并引起了廣泛的關(guān)注。其獨特的
成像機理和非破壞的亞表面觀察能力使其在進一步被推廣應(yīng)用等方面具有很大的
潛力。
電聲顯微鏡應(yīng)用于鐵電疇結(jié)構(gòu)的研究只有3年，已取得了不少開創(chuàng)性的結(jié)果。
作為一種新的觀察電疇結(jié)構(gòu)的方法，它豐富了電疇觀察手段。利用掃描電聲顯微
鏡實時研究電場作用下疇的成核、生長等運動規(guī)律；研究溫場作用下鐵電相變中疇
結(jié)構(gòu)、疇運動規(guī)律；研究外加應(yīng)力對電疇結(jié)構(gòu)的影響；研究鐵電疇電聲成像的微觀
機制并完善對電聲成像的分析等構(gòu)成了未來鐵電疇電聲學研究的主要內(nèi)容。
當然，電聲顯微鏡在疇結(jié)構(gòu)觀察方面的分辨率還有待提高，因為部分鐵電材料
的疇結(jié)構(gòu)研究需要納米級的分辨率。鐵電疇電聲成像的理論框架雖然已經(jīng)建立，
但其深入的理論還需要進一步完善。鑒于本章所述的鐵電疇電聲顯微成像的主要
優(yōu)點，通過這些年的努力，電聲顯微鏡已經(jīng)成為電疇觀察方法中的重要手段。
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