本文標題："冶金學(xué)機械和熱焊樣品分析技術(shù)-細小器件測量顯微鏡"
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冶金學(xué)機械和熱焊樣品分析技術(shù)-細小器件測量顯微鏡
對金屬與半導(dǎo)體接觸，除個別一些特例以外，都只是在一般
現(xiàn)象上的了解。對大多數(shù)器件來說，只要這種接觸根本不影響或
根本不支配各個器件的最終性能或使其退化就滿足了。但是，已
經(jīng)看出，在把接觸直接做到器件(特別是轉(zhuǎn)移電子器件；碰撞雪
崩渡越時間二極管比較少)的有源區(qū)時，用砷化鎵和磷化銦制造
的器件中，這種接觸性質(zhì)都能支配器件的性能。如能了解這些性
能并能加以控制的話，就可以改善器件的性能。對于可控勢壘來
說，異質(zhì)結(jié)結(jié)構(gòu)可能比金屬一半導(dǎo)體接觸工藝更合適。接觸的長期
性能是相當重要的。大多數(shù)微波器件是在高電場高溫下工作的
——冶金學(xué)上的問題已經(jīng)解決。遺憾的是，建立任何一種結(jié)構(gòu)的
可靠性都需要花一定的時間，因此，新的接觸結(jié)構(gòu)需要很長的發(fā)
展時間。
通常接觸性質(zhì)是在低場下檢定的，而在實驗上可以外推到高
場區(qū)。要了解金屬一半導(dǎo)體在工作條件下的相互作用，尚有許多
工作要做。
在脈沖器件中，因為脈沖長度、占空因子和各種組分的熱擴
散率成為決定性的因素，所以分析必須更嚴格。用珀爾曼對砷化
鎵和磷化銦脈沖轉(zhuǎn)移電子器件的分析結(jié)果就能得到可與實驗結(jié)果
相比的相當好的計算值。
為了使結(jié)構(gòu)兩端的熱阻抗減至最小，我們需要：
①制造小直徑的器件，必須小于100微米。
②對于高功率發(fā)生器，采用多陣列韻小直徑器件，使擴展電
阻減至最小。
③在全部金屬一金屬和金屬一半導(dǎo)體的界面處達到具有良好的
機械和熱焊接性能。
④如果其它參數(shù)許可的話，應(yīng)鋪造霰散熱器結(jié)構(gòu)的器件。
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