本文標題："計算機及高精度機械加工數(shù)字全息檢測技術(shù)"
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計算機及高精度機械加工數(shù)字全息檢測技術(shù)
微機電系統(tǒng)的數(shù)字全息檢測
隨著計算機及高精度機械加工技術(shù)的進步，微機電系統(tǒng)及微型元件
獲得廣泛應(yīng)用．為保證微系統(tǒng)的質(zhì)量，微機電元件的幾何尺寸及空間配
置精度的測量是一種關(guān)鍵技術(shù)．在該研究領(lǐng)域中，數(shù)字全息三維形貌檢
測獲得了重要應(yīng)用．
氣流傳感器的形貌，其傳感關(guān)鍵部位是硅芯片上一個寬度約lmm的
方形的隔膜．穿過隔膜和底層的氣流變化將導(dǎo)致通過隔膜周圍空間的光
束變形．應(yīng)變儀將這個變形轉(zhuǎn)化成光電信號后便能獲取氣流變化的信息
．很明顯，準確知道隔膜在給定氣流狀態(tài)的形狀對控制產(chǎn)品的質(zhì)量非常
重要．
材料物性參數(shù)的檢測
對材料形變的測量測能獲取材料的許多重要物性參數(shù)，例如材料的
楊氏模量、熱膨脹系數(shù)及泊松比等．國內(nèi)外在該研究領(lǐng)域不但已經(jīng)取得
許多重要進展，一些測量技術(shù)已經(jīng)獲得實際應(yīng)用
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