本文標(biāo)題："移測量或應(yīng)力分析-相位測量技術(shù)分析"
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移測量或應(yīng)力分析-相位測量技術(shù)分析
應(yīng)用
所有這些技術(shù)都可以用于位移測量或應(yīng)力分析，也可以用于目
標(biāo)輪廓測量。位移測量是通過比較物體一個微小位移前后或加載負(fù)
載前后的條紋圖案來進(jìn)行的 由于這些測試的靈敏度是可變的，
因此相比于全息技術(shù)，它們可以用于更大范圍位移與應(yīng)力測量。通
過對所獲得的兩幅條紋圖案進(jìn)行比較，同樣能夠?qū)崿F(xiàn)對兩個物體或
物體與標(biāo)準(zhǔn)件進(jìn)行比較的差分干涉測量術(shù)。最后，利用莫爾技術(shù)進(jìn)
行時間平均振動分析與使用更長有效波長的時間平均全息術(shù)獲得的
結(jié)果相似。
使用相位測量技術(shù)時，可以定量地獲得與某些參考面相對的表
面高度。如果等高線在物空間內(nèi)是等問距的直條紋，那么參考面將
是一個平面。在計算機中，可從表面高度中減去任何理想平面(或
面)以產(chǎn)生和所有表面有關(guān)的表面輪廓。這類似于通過光柵(或變形
光柵)觀察等高線以減少它們的數(shù)量。如果等高線不是等間距直條
紋，參考面將不再是平面。通過在待測物體位置放置一塊平面，并
測量它的表面高度就可以確定參考面。一旦獲得參考面的面形數(shù)據(jù)
，就可以在隨后的測量結(jié)果將其減去而獲得待測面相對于參考平面
的表面高度。因此．采用相位測量干涉術(shù)可以使表面高度和所有表
面有關(guān)，并且能將其轉(zhuǎn)化為與另一個表面有關(guān)的表面高度。對裝置
進(jìn)行更深入的研究，可以將標(biāo)準(zhǔn)件與多個測試件進(jìn)行比較測試以確
定其形狀是否符合規(guī)定。應(yīng)當(dāng)指出的是這種測試將會對某一方向比
較敏感，而且可能存在一些由于表面上的陰影而造成數(shù)據(jù)丟失的區(qū)
域。
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