本文標(biāo)題："微結(jié)構(gòu)體微加工微表面輪廓測量儀器廠家"
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相同幾何形狀的陣列，用作機械過濾裝置。該種微結(jié)構(gòu)是利用LIGA
技術(shù)生產(chǎn)的。LIGA技術(shù)使用了X射線光刻法、電鍍和成型過程(第7
章介紹了該方法)。計算機上完成的結(jié)構(gòu)設(shè)計通過電子束寫入器被
傳遞到掩模上。掩模的結(jié)構(gòu)通過平行
LIGA過程的第一步是獲得一個微結(jié)構(gòu)體。該結(jié)構(gòu)體具備掩模的
橫向結(jié)構(gòu)，高度由抗蝕劑的層厚決定。在后續(xù)步驟中，將被照射的
聚合層去除，代之以電鍍金屬。隨后在去除了非照射聚合層后，余
下的就是金屬結(jié)構(gòu)模了。以該金屬模為模型，通過澆鑄或熱雕等過
程完成微結(jié)構(gòu)的復(fù)制。盡管模型結(jié)構(gòu)的制造成本較高，不過可以采
用多種材料批量生產(chǎn)的方法，從而使微結(jié)構(gòu)體的生產(chǎn)變得非常經(jīng)濟
。
除了上述兩種基本方法之外，還有很多方法也采用上述技術(shù)的
某些過程。這些方法在特定的應(yīng)用中有其獨特的優(yōu)勢。這里將引用
一個微機械生產(chǎn)的例子。這個微輪廓是在一個金屬平面上利用形狀
合適的金剛石刀具銑出的。通過加工形狀規(guī)則的結(jié)構(gòu)和將微加工形
成的薄片正確地疊放，就可以較經(jīng)濟地生成三維微結(jié)構(gòu)體。這個生
產(chǎn)方法與前面提到的兩種技術(shù)不同。
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