本文標(biāo)題："懸浮顆粒分類微結(jié)構(gòu)技術(shù)樣品檢測(cè)顯微鏡"
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懸浮顆粒分類微結(jié)構(gòu)技術(shù)樣品檢測(cè)顯微鏡
環(huán)境包括：室溫、空氣濕度、空氣及所使用介質(zhì)中的顆粒密度
，如果一個(gè)0．5μm的污染物顆粒落在集成電路的重要部分，即使
不導(dǎo)致電路的失效也會(huì)引起巨大的損壞。半導(dǎo)體技術(shù)、微結(jié)構(gòu)技術(shù)
和潔凈室技術(shù)是相互分不開的概念。
一個(gè)低粒子濃度的環(huán)境是非常重要的，因此這就需要有一個(gè)恒
定的“污染空氣”與無顆?？諝獾慕粨Q。高質(zhì)量的清潔室是在層流
下運(yùn)行的，因?yàn)榭諝獾臏u流增加了實(shí)驗(yàn)室環(huán)境下顆粒的停留時(shí)間。
實(shí)際的潔凈室是由第二個(gè)封閉層即“灰室”(在此已調(diào)整好新鮮空
氣流的溫度和濕度)構(gòu)成的殼型結(jié)構(gòu)。添加的新鮮空氣通過過濾的
天花板到達(dá)潔凈室，然后以適當(dāng)角度并以層流流向潔凈室地板，在
力的作用下通過地板，再通過氣道傳輸回位于天花板上面的氣體處
理室。在處理室內(nèi)，一些化學(xué)加工產(chǎn)生的廢氣被直接提取并分離后
處理。循環(huán)的空氣與一定溫度和濕度的新鮮空氣混合后，再送回到
位于過濾天花板上面的壓力室。通過對(duì)過濾器的濾孔尺寸、空氣流
量和制造環(huán)境參數(shù)的控制，可以得到一個(gè)符合懸浮顆粒分類空氣質(zhì)
量等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)的環(huán)境
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