本文標題："痕微量構(gòu)劃封裝和微元件焊接檢測顯微鏡"
發(fā)布者：yiyi ------ 分類: 技術(shù)文章 ------
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痕微量構(gòu)劃封裝和微元件焊接檢測顯微鏡
傳感器
具有高發(fā)展?jié)摿Φ奈⑾到y(tǒng)技術(shù)與常規(guī)技術(shù)相比較，明顯的差異
在于傳感器技術(shù)方面。傳感器將是測量系統(tǒng)鏈中最薄弱的環(huán)節(jié)，因
此系統(tǒng)對傳感器的可靠性有了越來越高的要求，同時對傳感器的準
確性、敏感性、選擇性、壽命和與長時間工作漂移有關的穩(wěn)定性也
有高的要求。特別是有關化學傳感器和生物傳感器方面的問題，這
些傳感器必須不受妨礙地暴露在未知的介質(zhì)中，同時還要避免虛假
信號的影響。在汽車領域有一個問題，即汽油中的鉛含量導致尾氣
檢測系統(tǒng)的久探針中毒問題。在醫(yī)學領域，植人人體的傳感器維持
長時間的工作也是很困難的，生物相容性不僅意味著生物體不受外
來物的影響，而且意味著植人物也不受生物系統(tǒng)的排斥。如果生物
系統(tǒng)要排斥和溶解任何外來物，至少要形成保護膜組織來密封外來
物。
陽極粘接法
晶片·玻璃粘接
陽極粘接是在最近幾年發(fā)展起來的一種封裝和微元件防護以至整
個系統(tǒng)防護的有力工具。陽極粘接使一個微結(jié)構(gòu)上的防護玻璃罩的
不可逆封裝變得更容易。
按照定義，微結(jié)構(gòu)是由靈活的元件(如彎曲梁、振蕩鏡、線性
寸的件后尺高部然米和 ，痕微量構(gòu)劃的數(shù)結(jié)上成件該劃構(gòu)元用被
)的使片塞大地晶活巨立 ，、以獨中輪構(gòu)了業(yè)齒結(jié)為造、種 。
制達這上體馬 ，)導(樣片半構(gòu) 一 晶在結(jié)件( 。的元底來由
子基下自電在除全微作切完和制上和 。被片)體度晶器維密從行
三裝須貼執(zhí)的封必
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