本文標題："以激光為光源設計具光譜和顯微鏡整合的光學量測儀"
發(fā)布者：yiyi ------ 分類: 行業(yè)動態(tài) ------
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共焦顯微鏡售價極高且系統(tǒng)改裝不易，
以光學元件建構而成的共焦顯微鏡，并配合各式光譜量測技術與差動式共焦顯微術，進行設計具光譜及顯微術整合的光學性質量測系統(tǒng)。
裝置了兩套共焦顯微術系統(tǒng)，包括螢光共焦顯微系統(tǒng)與差動式共焦顯微術系統(tǒng)，
前者以螢光激發(fā)雷射為光源，后者以高穩(wěn)定性單頻雷射為光源
使用高穩(wěn)定性(擾動< 0.1%)氦氖雷射為光源，并利用極化分光器與二分之波長板
與四分之波長板作強度調變與回授光分離，使用 PI 公司所生產的壓電驅動控制平臺，作樣
品二維掃瞄與物鏡縱向驅動的奈米級驅動控制。光偵測器所收集到的共焦光子信號經放大
后，透過類比/數位信號擷取卡，利用 LabVIEW 軟體進行信號擷取與三維掃瞄的自動控制
使用 532 nm 波長的雷射為光源，與數值孔徑 0.65 的 40X 物鏡，以直徑 1 µm 的螢光
小球（激發(fā)中心波長 540 nm，放光中心波長 560 nm）為樣品，進行螢光共焦顯微術的 X-Y
二維掃瞄，其結果如圖三所示。掃瞄面積為 50 x 50 µm2，影像中心的螢光小球直徑（箭頭
標示處）經影像強度剖面分析，縱向與橫向的半高全寬值分別為 1.0 µm 與 1.5 µm，驗證了
共焦顯微系統(tǒng)的二維解析能力與螢光影像能力
開發(fā)制作了微流道晶片。以半導體材料為基材，采用光罩顯影與曝
光蝕刻的技術，并在微流道中間設計了柱狀的微米尺度結構。柱狀微結構每個直徑為 20
µm，柱狀中心間距為 30 µm。
柱狀微結構的光學顯微鏡觀察結果以及差動式共焦顯微術的掃瞄結果
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以激光為光源設計具光譜和顯微鏡整合的光學量測儀,金相顯微鏡現(xiàn)貨供應
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