本文標題："SEM電子顯微鏡的原理簡介-儀器常識"
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SEM電子顯微鏡的原理簡介-儀器常識
SEM
的主要工作原理為電子鎗透過熱游離或是場發(fā)射原理產(chǎn)生高能電子束，經(jīng)過電磁透鏡組后，可以將電
子束聚焦至試片上，利用掃瞄線圈偏折電子束，在試片表面上做二度空間的掃瞄
當(dāng)電子束與試片作用時，會產(chǎn)生各種不同的訊號，如二次電子、背向散射電子、吸收電子、歐杰電子、特征X光??等。在
一般掃瞄式電子顯微鏡偵測系統(tǒng)上，主要為偵測二次電子及背向散射電子成像，這
些訊號經(jīng)過放大處理后即可成像觀察
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