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電子顯微鏡的特點(diǎn)

新聞來源:未知 發(fā)布時(shí)間:2011/7/12 8:46:48
電子顯微鏡的特點(diǎn):

(1)具有相當(dāng)高的分辨率,一般為 3.5 ~ 6nm。
 
(2) 放大倍數(shù)變化范圍大,一般為 15 ~ 200000 倍,對于多相、多組成的非均勻材料便于低倍下的普查和高倍下的觀察分析。

(3)場深大、三百倍于光學(xué)顯微鏡,適用于粗糙表面和斷口的分析觀察;圖像富有立體感、真實(shí)感、易于識別和解釋。

(4)可以觀察直徑為0 ~ 30mm的大塊試樣(在半導(dǎo)體工業(yè)可以觀察更大直徑),制樣方法簡單。

(5)可進(jìn)行多種功能的分析。與 X 射線譜儀配接,可在觀察形貌的同時(shí)進(jìn)行微區(qū)成分分析;配有光學(xué)顯微鏡和單色儀等附件時(shí),可觀察陰極熒光圖像和進(jìn)行陰極熒光光譜分析等。

(6)可使用加熱、冷卻和拉伸等樣品臺進(jìn)行動態(tài)試驗(yàn),觀察在不同環(huán)境條件下的相變及形態(tài)變化等。

(7)可以通過電子學(xué)方法有效地控制和改善圖像的質(zhì)量,如通過調(diào)制可改善圖像反差的寬容度,使圖像各部分亮暗適中。采用雙放大倍數(shù)裝置或圖像選擇器,可在熒光屏上同時(shí)觀察不同放大倍數(shù)的圖像或不同形式的圖像。
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